Micro Inspection
System
MIS MARS
Product No.：MARS
大物件非破壞微檢測系統
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- MIS系列中的客製化物件檢測系統, 專為不容許破壞的較大零組件, 所開發之缺陷檢測與異常成份分析儀器。
- 半導體零組件缺陷與異常微粒分析解決方案
- 待測物件免破片, 可客製載台治具, 可升級自動化分析檢測
- 推薦產業: 零組件, 設備廠務
- 台灣精品2021
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- 客製夾持治具與驅動載台, 可依據物件外觀結構, 以獨特技術實現表面360度連續檢測
- 標配高精密壓電陶瓷馬達樣品移動載台, 可升級閉迴路系統實現精準定位, 可客製座標轉換系統導入缺陷清單
- 微粒取樣套件(Particle Sampling Kits, PSK®), 創新實現取樣/拍攝/分析一體性解決方案, 輔助進行微粒控制/潔淨度異常排除
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